- ���c���̃X�g���[�W�ʐM
- ���c���̃f�o�C�X�ʐM
- ���V�㗲�̃i�m�t�H�[�J�X
- ��R���̋ƊE�X�R�[�v
- �匴�Y��̃G���E�g�ݍ��݃v���C�o�b�N
- ���^�C�A���O�G���W�j�A�̎Љ�l��w�Y���L
- ���E���u�����v�ʼnĂ݂悤
- �x��o�Y���[�h �`Behind the Buzzword
- ����10�N�ŋN���������ƁA����10�N�ŋN���邱��
- ���i�����ŒT��A�W�A�̐V�g�����h
- ���`���Z�p��m��
- �g�ْ[���G���W�j�A�h���d�|�����Г����v�A���O��180��
- �C�m�x�[�V�����͓��{���~���̂�
- JASA��IoT�ʐM
- IHS�A�i���X�g�u�����W�]�v
- �u�p��Ɉ�����Ȃ��G���W�j�A�v�̂��߂̐V�s���_
91�{�̓d�q���Ő��\�{�����������ׂ������@�����n�C�e�N�F���x�Ƒ��x�𗼗�
�����n�C�e�N�́A��ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology�i�ȉ��AZEISS SMT�j�Ƌ����Ŏ��g��ł��锼���̐����H�������}���`�r�[���d�q���������u�̊J���̐�����������B�]���̌��w���ł͌��o����������Ȍ��ׂ��A�V���O���r�[���d�q���������u�̐��\�{�̑��x�Ō����ł��鑕�u�̊J������������B
91�{�̓d�q���Ō������x�Ƒ��x�𗼗�
�@�����n�C�e�N��2026�N9���A��ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology�i�ȉ��AZEISS SMT�j�Ƌ����Ŏ��g��ł��锼���̐����H�������}���`�r�[���d�q���������u�̊J���̐�����������Ɣ��\�����B�����Ȍ��ׂ��u�V���O���r�[���d�q���������u�̐��\�{�v�i�����n�C�e�N�j�̑��x�Ō����ł��鑕�u�̊J������������B
�@��[�����̃f�o�C�X���[�J�[�ł́A2nm�m�[�h�f�o�C�X�̗ʎY�J�n��J�����iNA�j�̑傫��High-NA �ɒ[���O���iEUV�j�I���Z�p�̓������i��ł���B�����������A��H�p�^�[���`����̃E�G�n�[�����ɂ����āA�]���̌��w���������u�ł͔����Ȍ��ׂ����肵�Č��o����̂���������Ƃ����B����A�V���O���r�[���d�q���������u�̓z�b�g�X�|�b�g�Ȃǂ̌����ɗp�����Ă��邪�A�ʎY���C���ŗp����ɂ͌������x�ɉۑ肪�������B
�@���������ۑ�ɑ��āA�������x�ƌ������x�𗼗�������\�����[�V�����Ƃ��Ċ��҂���Ă���̂��}���`�r�[���d�q���������u���B�����̌�������d���R���g���X�g�����ɂ����p�ł���Ƃ����B
�@�����œ����n�C�e�N�́A����SEM�Ŕ|���Ă��������x�X�e�[�W��AAI�ɂ��摜�����Ȃǂ̋Z�p�ƁAZEISS SMT���J������91�{�̃r�[������Ȃ�}���`�r�[���J�����Z�p��g�ݍ��킹�A��[�����̗̂ʎY��������������u�̊J���Ɏ��g��ł����B
�@���Ɏ���@��p�����I���T�C�g�]�����n�߂Ă���B�]���̌��w���������u�ł͌��o��������ׂȌ��ׂ��A�V���O���r�[���d�q���������u�̐��\�{�̑��x�Ō����ł��邱�Ƃ��m�F���Ă���B
�֘A�L��
���Â猤���^���͑��u���[�J�[6�Ђ��W�� ����ƋZ�p�J��
���s��w�Ɠ��Ð��쏊�A���{�d�q�A�������쏊�A�����n�C�e�N�A�x�ꐻ�쏊�A���K�N�́u��[�Z�p�J���A���C�A���X�iKATALICE�j�v��ݗ������B���s��w�̌����j�[�Y�Ɗe�Ђ̋Z�p��g�ݍ��킹�A�����^���͑��u�̊J����AAI���܂ޕ��͋Z�p�̍��x���A�l�ވ琬�Ȃǂ�i�߂�B
�V���[�y���̐c�����i�ʓd�q�r�[���̔�������
�}�g��w�́A�V���[�v�y���V���c�̔j�f�ʂ����S�ɃO���t�@�C�g�����邱�ƂŁA���i�ʂȓd�q�r�[���̔������Ƃ��ĉ��p�ł��邱�Ƃ��������B�Ⴂ�d�E���x�ŁA�������ɍ��^��ł͂Ȃ����ł��A���肵�����o�d����������Ƃ����B
SEM�摜��͂�AI���p�A�����r���Ő��\��\���@�������쏊
�������쏊�Ɠ����n�C�e�N�́A�������C���̗����グ�ƕ����܂������x������u�v���Z�X�C���t�H�}�e�B�N�X�Z�p�v���J�������B���`�E���C�I���d�r�̎��색�C���ɊJ�������Z�p�����Č������Ƃ���A���ԍH���i�̒i�K�ɂ����Đ��i���\���������x�ŗ\�����邱�Ƃɐ��������B
�����̐�����10nm�ȉ��̔������ׂ������x�Ō��o
�������쏊�́A�����n�C�e�N�̋��͂āA�����̐����H���Ŕ�������10nm�ȉ��̔����Ȍ��ׂ��A�������x�Ō��o�ł���摜�����Z�p���J�������B�@�B�w�K�����p���邱�ƂŁA�u���ׁv�Ƃ����ł͂Ȃ��u��������v�̔��ʂ��\�ƂȂ�A�ߌ��o��90���ȏ���}�����B
���[�U�[�ʼn�H�p�^�[���������������@����̋Z�p�����p����
�����n�C�e�N�́A������w���J���������[�U�[��N���d�q�������iLaser-PEEM�j�̗L�p�����m�F�ł������Ƃ���A�����̌������u�Ƃ��Ď��p�����邽�ߋ��������ɏ��o�����B�����u��p����A�]���ɔ��H�p�^�[���̌����H����啝�ɒZ�k�ł��A�����܂����ɍv���ł���Ƃ����B
�����̐����̘I���H���ɂ����錟�����Ԃ�啝�Z�k
������w�̌����O���[�v�́A���[�U�[��N���d�q�������iLaser-PEEM�j��p���A���W�X�g�ɕ`�悳�ꂽ�������ɂ߂č����Ɍ����ł�����@���J�������B���̕��@��p����Ɣ����̐����̘I���H���ɂ����錟�����Ԃ�啝�ɒZ�k�ł���B
�֘A�����N
Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.
�L�������L���O
- NVIDIA���`��AI�s��́u���́v�A���{�̊��H�͂ǂ���
- ���[���A�����̌�H���̊O���ϑ����g��@�����헪��ϊv
- TSMC�F�{��2�H���3nm���Y�v��A�o�Y�Ȃ��F��
- �o�Y�ȁARapidus�ւ�4000���~�lj��o���v��𖾂���
- �ő�3.3���~�ŕč��ɔ�����2�H��A���{������ GF���^�c
- �j�f�b�N��v�s���A�i�玁����В���9�l�Ɂu���Q�����ӔC�v
- �j�R���A�����̌�H�������V�I�����u �����\��40������
- Applied��50���h��������R��D�{�݊J�݁@�����̂̊J��������
- MLCC�^�C���_�N�^�[2�{���Ő����s��ց@���z�U�d�В������V���v
- �O�H�d�@�ƍ��C�����Ɓ@���{��EV�v���b�g�t�H�[���m����
ITmedia�̓A�C�e�B���f�B�A������Ђ̓o�^���W�ł��B